פוטוליתוגרפיה – הבדלי גרסאות

תוכן שנמחק תוכן שנוסף
Eran.ishay (שיחה | תרומות)
Eran.ishay (שיחה | תרומות)
שורה 8:
== שלבים בתהליך ==
 
'''דפוזיציה''': השמת שכבת החומר להדפסה ([[נחושת]], [[אלומיניום]], [[סיליקון]], וכו'). ישנן מספר טכנולוגיות ייצור לשלב זה, בין השאר כתלות בחומר. שתיים מהנפוצות הינן [[CVD]] ו [[PVD]].
 
'''ניקוי והכנה''': בשלב זה מנקים את המצע לפני הנחת הפוטורזיסטה[[פוטורזיסט]]. כתלות בסוג המוצר (PCB, FPD, Semiconductor, או אחרים) כך רמת הניקיון הנדרשת.
 
'''השמת פוטורזיסט''': בשלב זה מניחים שכבה אחידה של החומר על כל המצע.
 
'''חשיפה ופיתוח''': בשלב זה חושפים את הפוטורזיסט לתאורהל[[תאורה]] אליה הוא רגיש (בד"כ [[UV]]) דרך מסכה עליה מוטבע מראש הגאומטריה אותה יש להדפיס על המצע.
 
'''איכול''': בשלב זה, ולאחר חשיפת הפוטורזיסט, מאכלים את החומר שנחשף מתחת לפוטורזיסט בתהליך איכול רטוב או [[איכול יבש]]
 
'''הסרת פוטורזיסט''': הסרת הפוטורזיסט שנותר.
 
[[קטגוריה:דפוס]]