פוטוליתוגרפיה – הבדלי גרסאות
תוכן שנמחק תוכן שנוסף
Eran.ishay (שיחה | תרומות) |
Eran.ishay (שיחה | תרומות) |
||
שורה 8:
== שלבים בתהליך ==
'''דפוזיציה''': השמת שכבת החומר להדפסה ([[נחושת]], [[אלומיניום]], [[סיליקון]], וכו'). ישנן מספר טכנולוגיות ייצור לשלב זה, בין השאר כתלות בחומר. שתיים מהנפוצות הינן [[CVD]] ו [[PVD]].
'''ניקוי והכנה''': בשלב זה מנקים את המצע לפני הנחת
'''השמת פוטורזיסט''': בשלב זה מניחים שכבה אחידה של החומר על כל המצע.
'''חשיפה ופיתוח''': בשלב זה חושפים את הפוטורזיסט
'''איכול''': בשלב זה, ולאחר חשיפת הפוטורזיסט, מאכלים את החומר שנחשף מתחת לפוטורזיסט בתהליך איכול רטוב או [[איכול יבש]]
'''הסרת פוטורזיסט''': הסרת הפוטורזיסט שנותר.
[[קטגוריה:דפוס]]
|