פוטוליתוגרפיה – הבדלי גרסאות
תוכן שנמחק תוכן שנוסף
הנדב הנכון (שיחה | תרומות) |
←שלבים בתהליך: ניסוח |
||
שורה 16:
'''חשיפה ופיתוח''' - Coating & Developing: בשלב זה חושפים את הפוטורזיסט ל[[תאורה]] אליה הוא רגיש (בדרך כלל [[UV]]) דרך מסכה עליה מוטבעת מראש ה[[גאומטריה]] אותה יש להדפיס על המצע.
'''איכול''' - Etching: בשלב זה
'''הסרת פוטורזיסט''' - Stripping: הסרת הפוטורזיסט שנותר.
|