מיקרוסקופ אלקטרונים – הבדלי גרסאות

 

{{ערך מורחב|מיקרוסקופ אלקטרונים סורק}}

[[קובץ:ScanningMicroscopeJLM.jpg|שמאל|ממוזער|250px|מיקרוסקופ אלקטרונים סורק במעבדת [[המכון הגיאולוגי לישראל]] (צולם ב-2010)]]

'''מיקרוסקופ אלקטרונים סורק (Scanning Electron Microscope, SEM)'''{{אנ|Scanning electron microscope}} בשונה מה-TEM, שבו נוצרת תמונה על ידי זיהוי אלקטרונים החודרים דרך הדגימה, במיקרוסקופ אלקטרונים הסורק הפקת התמונות נוצרת על ידי זיהוי אלקטרונים משניים הנפלטים מפני השטח עקב פגיעת אלומת האלקטרונים העיקרית שנורתה מ[[תותח אלקטרונים|תותח האלקטרונים]] ומורכזה על ידי ה[[עדשה|עדשות]]. ב-SEM, אלומת האלקטרונים סורקת את כל הדגימה שורה אחר שורה (סריקת ראסטר), וגורמת לפליטת אלקטרונים משניים (Secondary electron), ואלקטרונים מוחזרים (Backscattered electrons) מפני הדגימה. האלקטרונים המשניים והמוחזרים שנפלטו מפני הדגימה נקלטים על ידי [[גלאי]] אלקטרונים המשניים הנמצאים בדרך כלל לצד הדגם; ואילו גלאי האלקטרונים המוחזרים נמצאים בדרך כלל מעל הדגם; ולעיתים ניתנים אף להוצאה (משיכה) מתא הבדיקה. התמונה הסופית נבנית ממספר האלקטרונים שנפלטים מכל נקודה על הדגימה.