MEMS – הבדלי גרסאות

[[קובץ:Sandia MEMS bug 1b.jpg|שמאל|ממוזער|250px|[[קרדית אבק הבית]] בגודל הקטן מ[[מיקרון]] בתוך התקן MEMS]]

'''MEMS''', '''מערכת מיקרו אלקטרו מכנית''' ( '''Micro Electro Mechanical System''' ) היא משפחה של [[טכנולוגיה|טכנולוגיות]], [[חומרים]] [[מעגל|ומעגלים משולבים]] ברמות [[מיקרו]] ו[[ננו]] ( '''NEMS - Nano Electro Mechanical System''' ) המכילות רכיבים ומערכות [[אלקטרוניקה|אלקטרוניות]], [[מכונות|מכניות]], [[אופטיקה|אופטיות]] ('''MOEMS - Micro Optical Electro Mechanical System''') [[ביולוגיה|ביולוגיות]], ( '''BioMEMS - Biological Micro Electro Mechanical System''' ) [[פיזיקה|ופיזיקליות]] אחרות, כולם ממוזערות המאפשרות מגוון רחב מאוד של יישומים מתקדמים וחדשנים.